XU-100是(shi)一(yi)款(kuan)(kuan)高(gao)性(xing)價比(bi)型(xing)鍍層測(ce)厚(hou)儀/膜厚(hou)測(ce)試儀/光譜測(ce)厚(hou)儀,采用(yong)下照式C型(xing)腔體設計(ji),搭配微聚焦X射線發(fa)生器和高(gao)集成垂直光路系統,以及高(gao)敏變焦測(ce)距裝置(zhi),對(dui)各(ge)種(zhong)大(da)小(xiao)異形(xing)件都可(ke)快(kuai)速、精準(zhun)、無損測(ce)量(liang)。?檢(jian)測(ce)各(ge)種(zhong)金屬鍍層,檢(jian)出(chu)限可(ke)達0.005μm,最小(xiao)測(ce)量(liang)面積0.2mm²,凹槽深度(du)(du)測(ce)量(liang)范圍可(ke)達0-30mm,是(shi)一(yi)款(kuan)(kuan)測(ce)量(liang)鍍層厚(hou)度(du)(du)性(xing)價比(bi)高(gao)、適用(yong)性(xing)強的機(ji)型(xing)。
產品特點
1.下照式設計?
可以快速方便地定位(wei)對(dui)焦樣(yang)品。?
2.高(gao)精(jing)密微型移動滑(hua)軌
快速精準定位樣品。
3.?微(wei)焦X射線(xian)裝置
最小(xiao)檢測面積可(ke)達(da)0.2mm²的樣品(pin),可(ke)進行各類電(dian)鍍層膜厚檢測。?
高效率正比(bi)接收(shou)器(qi)即使測試(shi)0.2mm²的樣品,幾秒鐘(zhong)也能(neng)達到穩(wen)定性。
4.?變焦裝置算法
可(ke)對各種(zhong)異形凹槽(cao)進行檢測(ce),凹槽(cao)深(shen)度測(ce)量范(fan)圍可(ke)達0-30mm。?
5.先進(jin)的EFP算法
多層多元素,包括有同種元素在不同涂鍍層的(de)檢測,都可以(yi)快(kuai)、準、穩的(de)做出數據分析。?
規格參數
電源 | 220VAC |
功率 | 95W(不含計算機) |
儀器重量 | 48KG |
儀器尺寸 | 550*360*410mm |
樣品艙尺寸 | 435*330*140mm |
樣品臺移動 | 高精密 XY 手動滑軌 |
可移動范圍 | 50mm*50mm |
放大倍數 | 光學 38-46X,數字放大 40-200X |
對焦方式 | 高敏感鏡頭,手動對焦 |
樣品觀測 | 1/2.7 ”彩色 CCD,變焦功能 |
測量元素范圍 | Cl(17)~U(92) |
涂鍍層分析范圍 | Li(3)~U(92) |