特點：

1、可更換清洗(xi)吸(xi)盤，可使用4-12英(ying)寸的清洗(xi)吸(xi)盤；

2、操作(zuo)程序可按作(zuo)業需求(qiu)編寫調(diao)整，設(she)備(bei)運行(xing)流程、清(qing)洗時(shi)間及各項參數可自行(xing)編制；

3、設備運(yun)行狀態(tai)及(ji)參數在線(xian)實時監控，自動(dong)門配有安全光(guang)柵，保(bao)證操(cao)作安全；

4、采用(yong)真空吸附(fu)式清洗盤(pan)，晶元夾具的取放更安(an)全、方便；

5、擺臂(bei)式(shi)清(qing)洗，清(qing)洗范(fan)圍可編制，適用(yong)范(fan)圍廣、無清(qing)洗盲區、無二次(ci)污(wu)染，清(qing)洗效果更佳；

6、設(she)備(bei)清洗(xi)室全密封，且配有自動擋水(shui)圈(quan)，有效防止二(er)次污染；

7、高(gao)速離心設計(ji)，轉(zhuan)速可調節100-2000R/Min；

8、配(pei)備獨特的(de)靜電消除裝置，輔助清洗達到最佳(jia)效果，可選(xuan)擇使(shi)用氮(dan)氣；

9、設備配有(you)大面積透(tou)明觀察窗；

10、縮(suo)減寬(kuan)度的(de)省空(kong)間設計，結構緊湊(cou)，占用空(kong)間小；

11、整機(ji)(ji)鏡面(mian)不銹鋼(gang)機(ji)(ji)身，能耐酸堿，對工作環境無(wu)污(wu)染，鏡面(mian)機(ji)(ji)殼易于保養。

規格參數：

清洗機工藝

放入物料---一鍵清(qing)洗開始，安(an)全門(men)自動關閉---二流體清(qing)洗---離(li)心脫(tuo)水（去靜電(dian)離(li)子風(feng)與加熱腔體輔助干燥)

---清洗完(wan)畢---報警提示---玻(bo)璃門(men)自動打(da)開。

采用高(gao)速離(li)心設計，主要使用于4-12英(ying)寸(cun)的(de)硅晶圓(yuan)片的(de)精密(mi)清(qing)洗；

搭配二流體清洗、靜電消除(chu)/氮(dan)氣、 高速離心等裝置，使被清洗件達到干燥、潔凈的(de)目的(de)。