特點：
1、斐索型(xing)系統保證精密測量(liang)
2、創XIN算法提(ti)供在振(zhen)動環(huan)境中(zhong)也(ye)能進行可(ke)靠的測(ce)量
3、圖像界面，易(yi)于生產線上(shang)操作(zuo)
4、工業級Metropro③軟(ruan)件
規格參數：
| 測量功能： | 精密測(ce)量各種反射面和(he)光學系統的表面面形、 精(jing)密測量光學系統(tong)的傳輸波前 |
| 測量技術： | QPSI快速機械相移模式和傳統的機械相移干涉模式（PSI） |
| 校準系統： | 快速條紋采樣系統(QFAS) (雙光點定位于十字線) |
| 測量光束直徑： | 4″（102mm）或6″（152mm） |
| 對準視場范圍FOV： | 4″：±3°；6″：±2°； |
| 光學中心線： | 4.25″（108mm） |
| 激光光源： | 大功率穩頻氦-氖激光，IIIa級 |
| 波長： | 633 nm |
| 頻率穩定度： | < 0.0001 nm |
| 相干長度： | ＞100m |
| 成像分辨率： | 1024 x 1024像素 |
| 幀速： | 100Hz（PSI） |
| 數據采集時間： | 130-300ms |
| 數據模式： | 8位 |
| 放大： | 電控1-5X |
| 偏振： | 接近圓偏振（1.2：1或者更好） |
| 光曈調焦范圍： | 4″：±2.5m；6″：±5.5m； |
| 計算機和軟件： | 高性能(neng)DELL PC，Windows7，64位， ZYGO專利軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2） |
| 安裝構造： | 水平臥式或垂直立式 |
| 附件 | 詳細參考ZYGO激光干涉儀附件向導文件，OMP-0463 |
| 尺寸(長x寬x高) | 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)； 6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） |
| 重量 | 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg） |
| 電源 | 100-240VAC，50/60Hz |
工作環境
| 溫度： | 15°C - 30°C (59°F - 86°F) |
| 溫度變化率： | ＜1.0°C/15min |
| 濕度： | 相對濕度5% - 95% , 無凝結 |
| 隔振： | QPSI模式可以在振幅不超過(guo)150nm的(de)震動環境下進行測(ce)量； 機械移相測量(liang)模(mo)式(shi)推薦使(shi)用被動隔振(zhen)系統。 |
性能參數
| RMS重復性（3）： | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
| RMS波前重復性（4）： | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
| 像素峰值偏差(5)： | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
兩種模式下測試有振動的腔
PSI模式 13位(wei)計算法(fa) QPSI模式 5ms快門速度
注：
1、給出的(de)(de)環(huan)境(jing)參(can)數是指可以操作使用的(de)(de)環(huan)境(jing)，不代表(biao)儀器要達(da)到最(zui)好性(xing)能(neng)所(suo)需要的(de)(de)環(huan)境(jing)要求。
2、僅在MetroProX軟(ruan)件中(zhong)有QPSI測(ce)量模式。
3、簡單RMS重復性定義為對一個4英(ying)寸平面短腔，做36次連續測量
（每次16次相位平均(jun)），所測得(de)的(de)(de)RMS的(de)(de)標準差的(de)(de)2倍。
4、波(bo)前(qian)RMS重(zhong)復性定(ding)義為，把測得的均方根(gen)差(cha)(cha)的平均值加上標準(zhun)差(cha)(cha)的2倍作為波(bo)前(qian)RMS重(zhong)復性。
其中(zhong)標(biao)準差定(ding)義(yi)為(wei)把奇數(shu)次測(ce)量的均(jun)值作為(wei)參考值，而把偶數(shu)次測(ce)量值相對于此均(jun)值求得
標準差；計算基于36次連(lian)續測量（每次16次相位平(ping)均）。
5、像(xiang)素(su)峰(feng)值(zhi)偏差:定義為對于36次(ci)連續測(ce)量(liang)（每次(ci)16次(ci)相位(wei)平均），取圖像(xiang)峰(feng)值(zhi)標(biao)準差的 99.5%；
這個結果測量系(xi)統隨時(shi)間(jian)變化的(de)行(xing)為（或者A類(lei)不(bu)確(que)定性）。
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