特點:
1、嵌入式(shi) PC 和流線行設(she)計,更節省空(kong)間,更美觀 ,整機框架結構采用新型航(hang)空(kong)鋁材,非常堅(jian)固輕便,穩定性更高
2、人性化設計的(de)馬達驅動顯微鏡,能(neng)保(bao)證焦點(dian)在弧線(xian)路徑流暢的(de)移動,保(bao)證更開闊、更清晰的(de)視野
3、任意測量(liang)模(mo)(mo)塊的分辨率都是 100ppm,保證各(ge)測量(liang)模(mo)(mo)塊的測試精(jing)度(du),系統(tong)精(jing)度(du)0.15%,Z軸分辨率0.1um
4、可選先進的(de)數字(zi)圖(tu)像采(cai)集系統,可儲存不良(liang)品(pin)的(de)圖(tu)片,便于(yu)錯誤追溯與比較
5、豐富的數據(ju)報告輸出,多層次的用戶訪問,多語言設置切換
6、200KGF 的管芯剪切力(li)和凸點拉力(li)、可選(xuan)的 Hi-Mag 數字(zi)圖像采集卡、高精度的多量程模塊。
規格參數:
尺寸: | 560*432*585 mm (H*W*D) |
重量: | 55kg |
電源: | 90~264VAC,47~63Hz |
氣源: | 4.0~5.5bar |
真空: | 500mm Hg |
伺服馬達驅動: | X/Y 標準,305mm×155mm |
X、Y 分辨率: | 1um |
Z 軸分辨率: | 0.1um |
系統精度: | 0.15% |
步進精度: | 1~25um |
環形高度測量: | 是 |
力度曲線: | 是 |
測試模塊表
測試模塊: | 范圍 | 可選范圍 | ||
線拉力: | 100gf | 50gf | 20gf | 10gf |
1kgf | 500gf | 200gf | 100gf | |
10kgf | 5kgf | 2kgf | 1kgf | |
管芯剪切力: | 20kgf | 10kgf | 5kgf | 2kgf |
200kgf | 100kgf | 50kgf | 20kgf | |
線綁定剪切力: | 250gf | 100gf | 50gf | 25gf |
1kgf | 500gf | 200gf | 100gf | |
5kgf | 2kgf | 1kgf | 500gf | |
粘片強度3點測試: | 10kgf | 5kgf | 2kgf | 1kgf |
金球推力: 夾拉力: | 100gf | 5gf | 20gf | 10gf |
1kgf | 500gf | 200gf | 100gf | |
10kgf | 5kgf | 2kgf | 1kgf |
電動顯微鏡
只需按下(xia)前面板的開關就可以調整顯(xian)微(wei)鏡到舒適的高度。馬達驅(qu)動顯(xian)微(wei)鏡保持在(zai)它的焦點的弧線路徑流(liu)暢的移(yi)動。
沒有用來調整的旋鈕,沒有用于查閱的數字表格。
大面積的伺服X/Y
X軸(zhou)(zhou)的運動超過300mm,Y軸(zhou)(zhou)的運動超過150mm,這使得Royce 650很容易的適應(ying)300mm的晶圓、
引線框架和大的電子組件。高速軸允許焊球剪切測試和快速測試片定位。
超小螺距
高精(jing)度的光學和亞微米的X、Y分(fen)辨率提(ti)供高重復精(jing)度的超小間距的測試。
可選的(de)放大128X的(de)顯微鏡可以(yi)進行現場監測。集成的(de)電腦適合小的(de)無(wu)塵室無(wu)塵室是昂貴(gui)的(de)。
650除去工作臺還集成了高標準高精確(que)度的(de)Windows PC,易于使用的(de)包裝。
你(ni)的(de)IT部門也歡迎系統來自同一個來源。
豐富的數據報告
報告可以生成CSV、XLS或者PDF格式。建立在SQL數據庫可以用Royce查(cha)詢工具(ju)進行查(cha)詢使用。
數據(ju)可以導出到網絡(luo)驅動(dong)器(qi)、打印機(ji)、內置的DVD-CD R/W驅動(dong)器(qi)、向用戶提供(gong)的USB驅動(dong)器(qi)或RS232串口端口。
多層次的訪問
工藝工程(cheng)師對機器的(de)操(cao)作和(he)安(an)裝應有充分的(de)信息。然而生產操(cao)作者(zhe)應該(gai)限制訪問。
為(wei)了適應各種用(yong)戶的(de)訪(fang)問需(xu)要,工藝工程師可(ke)對(dui)每種類(lei)型的(de)用(yong)戶設置權(quan)限級別。
可以(yi)設置很多不同的(de)許可,但是2或(huo)3個就已經足夠了。訪(fang)問(wen)權限在(zai)用戶登錄時(shi)自動設置。
多種語言
只需點擊鼠標,語(yu)言就可以(yi)轉換。支持多種語(yu)言,包括繁體(ti)中文(wen)、簡體(ti)中文(wen)、日語(yu)、韓(han)語(yu)、德語(yu)、法語(yu)和英(ying)語(yu)。
其(qi)它語言也(ye)可(ke)以輕松的被安(an)裝。
200KGF的(de)管(guan)芯剪(jian)切力和凸點拉力 可選的(de)Hi-Mag數(shu)字圖(tu)像采集卡(ka) 高精(jing)度的(de)量程模(mo)塊(kuai)
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